深紫外光传输用光纤(DUV)
目前固体激光器和气体激光器研究的课题之一就是深紫外光领域(250nm)的激光器振荡技术。在固体激光器领域,采用CLBO(CsLiB6O10)结晶的Nd:YAG激光器的四倍波(=266nm)、五倍波(=213nm);在气体激光器领域,F2(=157nm),KY2(=148nm),Ar2 (=126nm),而采用ArF的环氧树脂激光器的振高波长=193nm等。
在半导体基片表面处理,在生物化学领域中对DNA的分析测试和化验、在医疗领域内对近视治疗等应用领域中,深紫外光都得到了极其广泛的应用。对能传输深紫外光的光纤开发工作也成为人所关注的重大技术课题。
从DUV光纤的损耗光谱化可以看出,在波长为=200nm时,传输损耗发生急聚变化,而在1240和1380nm处出现二个峰值,我们认为这是由OH的伸缩振动引起的吸收造成的。
相同的预制棒在拉丝过程中因拉丝条件不同,损耗光谱值也不同,DUV拉制过程中(当<220nm)拉丝速度为0.5m/分,炉温为1780℃时,光纤损耗值最小,光使用波长为193nmArF激光源时,最小透过率约为60%/m。光纤的损耗是随拉丝速度加快,炉温升高而增加,在220nm波长处产生吸收增加,这种增加值是由E"中心引起的,属拉丝工艺缺欠造在的。
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